镁锌氧（magnesium zinc oxide），工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-化合物半导体-三元化合物半导体，是由氧化锌（ZnO）和氧化镁（MgO）组成的替位固溶体半导体材料。其成分可从氧化锌过渡到氧化镁，因此镁锌氧兼具氧化锌的性质和氧化镁的性质。虽然氧化锌和氧化镁同属于II-VI族氧化物，但是它们的晶体结构、带隙、反射系数等都有很大的区别，因此镁锌氧的电光特性具有显著的组分依赖性。其中，氧化锌是一种宽禁带II-VI族直接带隙极性半导体材料，一般情况下，稳定的氧化锌具有六角纤锌矿结构，其a轴晶格常数为3.250Å，c轴晶格常数为5.206Å。而氧化镁具有稳定的岩盐结构，其晶格常数为4.211Å。由于Zn2+（0.60Å）和Mg2+（0.57Å）的离子半径接近，Mg2+和Zn2+在各自氧化物晶格中互相替换形成镁锌氧替位式混晶引起的晶格畸变较小。随Mg含量不同，镁锌氧可偏向某一晶格结构。Mg含量小于37%为六角晶体结构（晶格常数与氧化锌接近，a略有增加，c略有减小），大于62%为立方晶体结构（晶格常数与氧化镁相近，a略有减小），在二者之间则为混合相。