外吸除

外吸除（outside gettering），工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-[半导体材料制备]-半导体晶片加工-半导体单晶片吸除技术，对硅片背表面施加一定的处理，如背面打毛、离子注入、浓磷、硼扩散、淀积多晶硅层等，形成晶格损伤和应力，产生的吸除。见单晶片吸除技术。