养廉银制度起于清雍正年间，耗羡归公后实行。支发各官的养廉银，有一定的标准，首先是考虑到了各官地位的高低以及任所的事务繁简。除此之外，也还考虑到了其他的因素：一是照顾到了官员以往收受陋规的情况；二是照顾到了官员在养廉银外是否还有其他经费来源；三是照顾到了官员所在地区的富庶或贫瘠。但是，由于雍正年间的养廉银制度尚属创行阶段，各地官员的养廉银额不但差别很大，且多有变更，如云南巡抚的养廉银初定为17000两，随后又减为12000两，继而又减为10550两；四川巡抚的养廉银初定为12000两，继增为18864两，后又减为1万两；山东、河南巡抚的养廉银则高达2万两以上，比某些总督还高。随后亦多有调整。其他如总督、布政使、按察使以致府州县官员的养廉银亦参差不齐、多有变化。乾隆十二年(1747年)全国范围内进行了调整，成为定制。