光谱椭偏仪

（物理性能测试仪器）
光谱椭偏仪是一种用于物理学、材料科学领域的物理性能测试仪器，于2011年12月26日启用。波长范围190-2000nm，建模自动拟合，测量膜厚\折射率\带隙\消光系数等。
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