扩展电阻法

扩展电阻法（spreading resistance profile），材料科学技术名词，通过测量金属探针与半导体接触形成的扩展电阻，根据已有的扩展电阻与电阻率的校正曲线，获得半导体微区电阻率的电学测量技术。此方法可用于测量半导体器件中载流子浓度的纵向分布等。