熔融外延法
(材料工程学术语)
熔融外延法是液相外延法的一种,是从材料的熔融状态中进行外延生长的方法。1963年由Nelson等人提出。其原理是:以低熔点的金属(如Ga、In等)为溶剂,以待生长材料(如Ga、As、Al等)和掺杂剂(如Zn、Te、Sn等)为溶质,使溶质在溶剂中呈饱和或过饱和状态。熔融外延法是液相外延法的一种,是从材料的熔融状态中进行外延生长的方法。
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