激光气相沉积
(材料科学 名词)
激光气相沉积是激光照射靶材或反应气体,使其气化为原子态,随后气态原子沉积到基材表面形成薄膜的工艺。应用学科材料科学技术(一级学科),材料科学技术基础(二级学科),材料合成、制备与加工(三级学科),表面改性和涂层技术(四级学科)
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