扩散电阻
(物理术语)
扩散电阻,利用扩散工艺在硅片表面掺入三价或者五价元素,改变硅片的电阻率所形成的电阻。如在(含磷杂质)n型衬底的硅片上,注入硼离子,形成p型扩散电阻。
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