椭圆缺陷

椭圆缺陷（oval defect，OD），材料科学技术名词，用分子束外延技术生长Ⅲ-Ⅴ族化合物薄膜材料时，在(001)取向晶体表面上形状为椭圆形，椭圆的长轴沿<110>方向，尺寸在1~201m范围的表面型缺陷。