锁相外延

锁相外延（phase-locked epitaxy，PLE），材料科学技术名词，分子束外延生长过程中，通过监测反射高能电子衍射强度振荡，锁定组分原子(分子)束流挡板的开启与关闭，达到原子级平整度外延生长的技术。