颗粒硅是协鑫科技的一款零碳前沿硬核科技产品。2023年8月6日,全国标准信息公共服务平台信息更新,新版《流化床法颗粒硅》国家标准正式发布。颗粒硅是一种在流态化床内进行化学气相沉积制成的,平均粒径为1-2mm左右的颗粒状多晶硅。 颗粒硅的研发历史比较悠久,早在上世纪五十年代就有学者提出了通过化学气相沉积的原理来制备多晶硅。随后在此基础上不断改进,形成了目前的工艺。关键设备流化床反应器的关键工艺流程如下:作为晶种的高纯度硅籽晶从流化床反应器上部加入后,堆积形成晶种颗粒床层,将床层加热到反应要求的温度后,从反应器底部通入硅烷、氢气的混合气使晶种床层达到流化状态,预热的混合气通过加热床层时,硅烷分解形成单质硅沉积到硅籽晶表面。从反应温度来讲,硅烷在流化床内热解的温度仅为500-800℃。流化床工艺的特点给生产多晶硅带来多重优势,硅烷流化床内温度分布比较均一,反应器内硅沉积的表面积大,沉积速率快,可以实现连续进料、出料。