离子铣

离子铣，也称为离子束刻蚀（IBE），是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。等离子体通常是由电感耦合RF源或微波源产生的。热灯丝发射快速运动的电子。氩原子通过扩散筛进入等离子腔体内。电磁场环绕等离子体腔，磁场使电子在圆形轨道上运动，这种循环运动使得电子与氩原子产生多次碰撞，从而产生大量的正氩离子，正氩离子被从格栅电极的等离子体源中引出并用一套校准的电极来形成高密度束流（图1）。一个高压加速格栅把离子能量加至2.5keV。