须晶

须晶之制造方法是尤其是第一个利用燃烧合成法来制备氮化铝须晶之方法。在结构陶瓷的应用方面，若于制造氮化铝陶瓷体时，添加适量之氮化铝须晶(whisker)于其内部，便可大幅地增强其韧性与机械强度。本研究是以化学气相沉积法成长碳化矽须晶，利用三氯一甲基矽烷为反应源，使用H2当载流气体，并另通以H2主气流以稀释MTS至适当的浓度，于低压及高温下使MTS分解产生碳及矽，并藉由VLS机构成长碳化矽须晶。