半导体组件

半导体组件，常以ONO（OxideNitrideOxide氧化层-氮化层-氧化层）三层结构做为介电质(类似电容器)，以储存电荷，使得数据得以在此处存取。在此氧化层-氮化层-氧化层三层结构，其中氧化层与基晶层的接合较氮化层好，而氮化层居中，则可阻挡缺陷(如pinhole)的延展，故此三层结构可互补所缺。