尘粒污染

尘粒污染（ParticleContamination）'：由于芯片制造过程甚为漫长，经过的机器、人为操作处理甚为繁杂，但因机器、人为均或多或少会产生一些尘粒Particle，这些尘粒一旦沾附到芯片上，即会造成污染影响，而伤害到产品品质与良率，此即'尘粒污染'。我们在操作过程中，应时时防着各项尘粒污染来源。