自对准

自对准（Self-Aligned）硅化钛就是在硅表面溅镀钛，再对硅片进行高温处理，若其下面的膜层是硅则反应生成硅化钛（Ti+2SiTiSi2）、而若是二氧化硅则不反应，再对硅片进行蚀刻，已反应的则留下，未反应的被去除，所以自对准工艺可以不通过黄光制程，不需幕罩即可进行。