辅抽泵
(半导体相关)
BackingPump辅抽泵在高真空系统中,要想很快建立我们所需的高真空,单纯靠高真空泵是不行的(因高真空泵启动时系统必须已经在低真空条件下),所以我们在系统中加入一个辅抽泵(如油泵),先对系统建立初真空,再由高真空泵对系统建立高真空。
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