密化
(半导体相关)
Densify密化CVD沈积后由于所沈积的薄膜(ThinFilm)的密度很低,故以高温步骤使薄膜中的分子重新结合以提高其密度,此种高温步骤即称为密化。密化通常以炉管在800℃以上的温度完成,但也可在RTP(RapidThermalProcess)(快速升降温机台)完成。
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