无阀微泵的原理是利用扩散口/收缩口管道流路对流体的阻力的不同形成流量的差值。一种无阀压电微泵 前言 无阀微泵的原理是利用扩散口/收缩口管道流路对流体的阻力的不同形成流量的差值。如图 1(a)所示，当压电振子向上振动时，泵腔体积增大，泵腔吸液，液体从收缩口/扩散口分别吸入泵腔，但扩散口管道对液体的阻力小于收缩口管道，相应的从扩散口吸入的液体也就多收缩口;如图 1(b)所示，当压电振子向下振动时，泵腔体积减小，泵腔送液，收缩口/扩散口同时将液体泵出，但扩散口管道对液体的阻力大于收缩口管道，相应的从收缩口泵出的液体也就多于扩散口。所以，压电振子在交变电流下周期性的形变带动泵腔的体积周期性的形变，就形成了无阀微泵的连续差量流动。结构设计及制造 铜基体半径越大越好，但在半径增大同时，泵体半径也增大，泵体体积也会增大，因压电振子振动而改变的体积与泵体总体积之比减小，泵送效率也减小，所以铜基体半径应取适中。取压电体半径 5mm，厚度 0.2mm，铜基体半径为7mm，厚度0.1mm，并采用环氧树脂粘合。为保证泵送效率，泵腔半径则应相近，暂定泵腔直径 13mm，厚度