不均匀
(海洋科学 名词)
简介光纤材料的折射率不均匀造成的损耗。在工艺里面,对于刻蚀工艺,均匀性是衡量刻蚀工艺在整个晶片上,或整个一批,或批与批之间刻蚀能力的参数。对于镀膜工艺,均匀性是用来衡量镀膜的膜厚是否一致的参数。NU%=(Emax—Emin)/Eave
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