等离子体聚合

等离子体聚合是一种用等离子体使气体分子聚合的方法。等离子体聚合是利用等离子体放电把单体电离离解，使其产生各类活性种，由这些活性种之间或活性种与单体之间进行加成反应形成聚合膜。这是制备高聚物薄膜的一种新方法。