斐索干涉仪

（光电）

斐索干涉仪是一种原理为等厚干涉，用以检测光学元件的面形、光学镜头的波面像差以及光学材料均匀性等的精密仪器。其测量精度一般为/10~/100,为检测用光源的平均波长。