终点检测

（电器电子）
终点检测是指在>干法刻蚀不同于湿法>腐蚀(它对下面的材料没有好的选择比)的情况下，需要进行终点检测来监测>刻蚀工艺并停止刻蚀以减小对下面材料的过度刻蚀。
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