超净室

超净室是一种严格要求卫生环境的房间，主要用于光学器件制做，超净室内可以进行涂胶、光刻、蒸发镀膜及键合，清洗、烘干、电镀、腐蚀、扩散及研磨等。超净室条件的保持也特别重要，需要保持个人清洁卫生、时常维护超净室环境的设备、做好设备维护运行记录。