晶体外延生长方法

（工学 | 材料科学与工程）

晶体外延生长方法（technique of epitaxial crystal growth），工学-材料科学与工程-无机非金属材料-晶体材料-晶体制备科学，在单晶衬底上生长一层与衬底晶向相同或接近的单晶薄膜的方法。