氦气压缩机

氦气压缩机是低温泵系统或其他制冷单元的驱动单元，用于向低温泵或其他制冷单元提供高纯度氦气。氦气压缩机主要应用于半导体前道制程设备的蒸发、溅射和离子注入的真空系统，同时在天文、航天、医疗等领域也有广泛的应用。