激光气相沉积

（材料科学名词）

激光气相沉积是激光照射靶材或反应气体，使其气化为原子态，随后气态原子沉积到基材表面形成薄膜的工艺。应用学科材料科学技术(一级学科)，材料科学技术基础(二级学科)，材料合成、制备与加工(三级学科)，表面改性和涂层技术(四级学科)