纳米金刚石膜（nanocrystalline diamond film），工学-材料科学与工程-纳米材料，由纳米级金刚石多晶组成的薄膜。纳米金刚石薄膜的晶粒非常细小，为几到几十纳米，比常规金刚石薄膜小两个数量级以上，而且纳米金刚石薄膜的硬度比传统金刚石薄膜低。由于纳米效应，纳米金刚石薄膜除了具有常规金刚石优异的物理和化学性质外，还具有表面粗糙度低、摩擦系数小、电阻率低、红外透过率高、便于表面研磨抛光等优点，因而在微机电系统（MEMS）元件材料、场发射材料、生物传感器和摩擦磨损材料等领域具有很好的应用前景，有望成为理想的微电子及半导体材料、新型光学材料、光电子材料、工模具涂层材料。另外，纳米金刚石薄膜致密光滑，缺陷和晶界尺度远小于微米量级，具有近似于金刚石微晶的高弹性模量，是优异的声表面波基底材料。纳米金刚石薄膜的研究还处于基础性研究阶段，着重于纳米金刚石的形核机理、结构表征以及性能分析，尚未形成成熟的产品。