超纯材料（ultra-pure materials），工学-材料科学与工程-电子信息材料-半导体材料-[半导体材料制备]-超纯材料，制造半导体用的超级纯净材料。又称半导体级材料。其纯度远高于一般工业用材料的纯度。用于制备元素半导体、化合物半导体的组元材料，以及在制备过程中为控制其电学性能而加入的掺杂源材料都需要超纯材料。半导体用超纯材料主要涉及硅、锗、硒、磷、铟、锑、镓、铝、砷、锌、镉、汞、锡、铅、硫、氧、氦等。其中硅、锗主要用于制备元素半导体，其他的则主要用于制备化合物半导体。在作为半导体组元材料的同时，它们往往也是其他半导体材料的掺杂源。