沸点一14 . 3}_' ，.熔点一132.5 C' :.是一种无腐蚀性的微毒气体，对水和酸稳定，遇碱分解成硅酸盐和氢，在碱金属作用下分解成硅烷和氢。在空气中能白燃而生成_氧化硅和水。制备时采川硅烷原料气经质量流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压一F生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气甲混合气在不同的冷阱进行吸收，杂质被排出，可得高纯乙硅烷。可用于太阳能电池生产，分子柬外延和离子注人等技术在}C阳能电池生产上。用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上i}淀积速度快许多倍，且温度可降低200 ~ 300x'。