正型光刻胶
(化学化工术语)
正型光刻胶 由光分解剂和碱性可溶性树脂及溶剂组成,为重氮茶醒磺酸醋及线性酚醛制成。在受紫外光照射后光照区光分解剂发生分解,溶于有机或无机碱性水溶液.未曝光部分被保留下来,与母版形成相同的图形。该品为墟拍色液体。易溶于醚、酯、酮等有机溶剂,其特点是分辞率好,可以获得亚微米级线宽图形。由于感光速度快,可用于投影曝光和分步重复曝光。在相对湿度50%
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