双级减压器,气体工业名词,气体经两次减压到使用压力。其流速和压力稳定性优于单级减压器。属于高纯,防扩散,金属膜片结构;采用316L或黄铜材质;组装前所有零部件均经超声波清洗;在100级洁净室内组装,试验和包装。包装在充氮气(经0101Lm过滤器过滤)的双层聚乙烯袋中。要求减压器死体积小。入口压力最高为21MPa;出口压力为01007~015MPa,流量系数为0106,工作温度为-40~175℃,内表面光洁度为15~25Ra,内漏1×10-9mLs(He);出口压力升高:入口压力每升高017MPa,则出口压力上升7kPa。