薄膜导电材料（thin film conducting material），工学-材料科学与工程-电子信息材料-电子元器件材料-导电材料，厚度小于1微米、具有导电特性的薄膜材料的统称。分类薄膜导电材料通常分为单元素薄膜和多层薄膜。①单元素薄膜，通常指用单一金属形成的薄膜导电材料，主要是铝膜。主要用作电容器的电极、电阻器的端头、电感器螺旋导电带和多层布线等。其优点是导电性好，成膜工艺简单，无需用别的金属打底；缺点是抗电迁移能力较弱，易与金形成脆性的金属间化合物，影响元件和电路的可靠性，表面的氧化层给锡焊带来困难等。②多层薄膜，由不同的金属膜构成的多层导电材料，有二元系统、三元系统和四元系统等，主要有铬-金薄膜、镍铬-金薄膜、钛-金薄膜、钛-钯-金薄膜、钛-铂-金薄膜、镍铬-铜-钯-金薄膜、钛-铜-镍-金薄膜和铬-铜-镍-金薄膜、铁铬铝-铜-金薄膜和透明导电薄膜等。多层薄膜导电材料能较好地满足对薄膜导电材料的要求，是应用最广泛的薄膜导电材料。其结构一般包括底层和顶层两个部分。底层也称黏附层，主要起黏附作用，使顶层导体膜能牢固地附着在基片上，通常采用易氧化的金属，以便与基质中的氧形成化学键。