X射线形貌学，根据晶体中衍射衬度变化和消像规律，来检查晶体材料及器件表面和内部微观结构缺陷的一种方法，广泛用于晶体材料完整性的研究。又称X射线貌相学，它是根据晶体中衍射衬度变化和消像规律，来检查晶体材料及器件表面和内部微观结构缺陷的一种方法。它具有非破坏性检验、样品制备方便、实验重复性好、能决定缺陷的性质等优点，广泛用于晶体材料完整性的研究。随着科学技术的发展和近完整晶体材料的大量使用，自50年代后期，X射线形貌技术和X 射线衍射动力学理论的研究都有很大的发展，逐步成为材料科学中一种重要的检验手段和一门分支学科。