复合真空计组成 由热偶真空计与热阴极电离真空计组成。测量范围从大气~10-5Pa。 应用 通常,对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成,而应采用复合真空计,应用较多的是电离与热偶式复合真 空计。它的测量范围为13.33--666.6×10-8Pa。热偶真空计测量(10-1--10-3)×133.32Pa的低真空;电离真空计测量 133.32×10-3--666.6×10-8Pa的高真空。复合真空计附有一个热偶规管、一个电离规管,分别接在真空系统上,通过旋钮可分别给两个规管加热,并选择使用。